a.要配用發塵性較少的生產加工武器及相干武器，很須更加重視勾當局部位之發塵。  
b.應選擇灰塵之影響較小的出產裝備或接口裝備。
 
c.出產用之水、氣體、藥品等常常是形成污染的緣由，故應裝備過濾裝配。
 
d.計劃各裝備之設置裝備擺設空間時，事前宜斟酌不易堆集微塵之布局，計劃各并以輕易干凈為準繩。
 
e.真空泵等輕易發生污染物的這類裝備，應設置在無塵室里面或回風區，并加裝排氣管線排氣。
 
f.設置給水管線、氣體管線和電氣體系時，其機關須斟酌到輕易干凈，不易堆集污染物。
 
g.出產及相干裝備應按期打掃，以避免微塵之聚積。
 
h.應增強注重室內的溫濕度節制，避免因濕度之不妥形成結露生銹。
 
i.當裝備維修時易發生微塵粒子，故維修時盡可能于干凈室外停止，并加斷絕柵斷絕。
 
j.對施工或維修之廠商，應奉告收支無塵室之各項劃定，且擔任工程師應陪侍在側督工。
 
k.應有無塵室公用東西組，但不得帶出無塵室外利用。
 
l.計劃空間時若能鄰近無塵室設立一間維修和裝備頤養手冊置放室，將是一抱負之計劃。